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Traitement d'images en microscopie électronique pour la nano-fabrication

Christian Ban
Section Microtechnique, EPFL

Semester project
February 2004

Résumé
Ce projet se réalise en collaboration avec le groupe de nanostructuration de l’APL (Advanced Photonics Laboratory). Ce laboratoire a plusieurs activités dont le développement de systèmes de fabrication de nano-prototypes en utilisant la déposition de matériaux assistée pas faisceau d’électrons.
Le type de structures déposées peut être unidimensionnelle, bidimensionnelle ou encore en trois dimensions.
Dans ce but, le laboratoire utilise un microscope dont le faisceau est aussi bien utilisé pour l’observation que pour la déposition. De petites tailles de faisceaux permettent de faire de fines structures mais donnent des images très bruitées.
Le but du projet est de débruiter au maximum les images sans détériorer la netteté des contours des objets à observer

Je considère que le but a été atteint dans la mesure où il m’a été demander de débruiter les images obtenues par le microscope de l ‘APL. Comme vu précédemment, une image quasi indiscernable est, après traitement, nettement distinguable. Les utilisateurs du microscope sont satisfaits des résultats obtenus car une présentation intermédiaire leur a permis de voir l’état de mes travaux.
Toutefois les aspects de traitement en temps réel ne sont pas optimaux pour tous les filtres ce qui a pour conséquence de transmettre les images à l’utilisateur à des cadences relativement faible mais une utilisation avec deux filtres uniquement (un temporel et un spatial) permet de bonne vitesse de traitement. Si une vraiment bonne qualité est souhaitée après observation, l’opérateur peut alors reprendre les images enregistrées afin de les traiter individuellement